牛津仪器 (Oxford Instruments) 获得 GaN HEMT ALE 和 ALD 系统的大额订单 日本正在为主要电力电子和射频市场大幅提高 GaN HEMT 产量。 几家市场领先的日本代工厂已向牛津仪器等离子体技术公司下了大笔订单，用于等离子体原子层沉积 (ALD) 和原子层蚀刻 (A…